二手進(jìn)口16B雙面拋光機(jī)/平面研磨機(jī)/雙面平磨機(jī)/半導(dǎo)體晶圓片 

類型

項目

其他

動力

3相220V，50Hz

設(shè)備尺寸

1800L x1550W x2850H（電氣/空氣箱除外）

控制

觸摸屏和PLC控制

氣壓

5~6Kg/cm。

板尺寸

波爾

φ 384 x φ 1140 x55T[SUS410]

ts底板

R.P.M

46 R.P.M（逆變驅(qū)動）

發(fā)動機(jī)

7.5千瓦x4P

方法

蝸輪（DEC.RATE 1/25）箱式傳動

發(fā)動機(jī)

3.7千瓦x4P

方法

蝸輪（DEC.RATE 1/60）箱傳動

頂部空氣壓力。 氣缸

φ 180X550ST（低摩擦氣缸）

設(shè)置工件大小

sunarscale unitcontrol（研磨）

ts運(yùn)營商

載體尺寸

P.C.D φ 423.34[Dp=12/Z=200]

插入量

5EA

工作尺寸

內(nèi)齒輪

P.C.D φ 1185.34[Dp=12/Z=560]

R.P.M

23R.P.M（伺服電機(jī) 驅(qū)動器）

發(fā)動機(jī)

HC-SFS352[3.5 kW]

方法

行星齒輪DEC.DR IVE（dec.rate 1/14）

上下

齒輪馬達(dá)0.4 kW.1/60

第35屆

太陽齒輪

P.C.D φ 338.67[Dp=12/Z=160]

R.P.M

29R.P.M（伺服驅(qū) 動）

發(fā)動機(jī)

發(fā)動機(jī)

HC-SFS152[1.5 kW]

方法

行星geardec，dr ive（1 2月率1/60）

上下

手動操作

銷售技術(shù)楊經(jīng)理

18103045976